Titanový rotační válec terč

Je to součást používaná při procesech fyzikálního nanášení z plynné fáze (PVD), což je metoda pro nanášení tenkých vrstev materiálu na substrát. Titanový trubkový terč je vyroben z čistého titanu a má tvar válce, který se otáčí během procesu PVD.

Proces PVD funguje tak, že se pomocí elektrického oblouku nebo magnetronového naprašování odpaří materiál terče, v tomto případě titan, a uloží se jako tenký film na substrát. Rotující válcový terč umožňuje rovnoměrnější ukládání titanového filmu na substrát.

Mezi výhody použití v procesech PVD patří vysoká čistota naneseného filmu, vysoká rychlost nanášení a zlepšená adheze filmu. Titanové rotační terče pro magnetronové naprašování jsou vyrobeny z vysoce kvalitního titanového materiálu a jsou navrženy tak, aby odolávaly vysokým teplotám a mechanickému namáhání během procesu PVD.

Specifikace Úvod

Typ normální velikosti:

Naše výhoda

Námi dodávané titanové terče mají malá zrna, rovnoměrné rozložení, vysokou čistotu, málo inkluzí a vysokou čistotu. Deponovaný film TiN se používá v dekoračních, nástrojových, polovodičových a dalších oblastech s dobrou přilnavostí, rovnoměrným povlakem a jasnými barvami.

--Čistota

Pro výrobu kvalifikovaného titanového naprašovacího terče je čistota jedním z důležitých ukazatelů výkonu. Čistota titanového terče má velký vliv na výkon naprašovacího povlaku. Čím vyšší je čistota titanového terče, tím méně částic nečistot je v naprašovaném titanovém filmu, což má za následek lepší výkon PVD povlaku, včetně lepší odolnosti proti korozi a elektrických a optických vlastností. V praktických aplikacích však mají titanové terče pro různé účely různé požadavky na čistotu. Materiál terče se používá jako zdroj katody při naprašování a prvky nečistot a inkluze poréznosti v materiálu jsou hlavními zdroji znečištění naneseného filmu. Pórovité vměstky budou v podstatě odstraněny během nedestruktivního testování ingotu a pórovité vměstky, které nebudou odstraněny, způsobí výboj během procesu naprašování, čímž ovlivní kvalitu filmu; obsah nečistot se může projevit pouze ve výsledcích testů úplné analýzy prvků, čím nižší je celkový obsah nečistot, tím vyšší je čistota titanového terče.

--Hustota

Hustota je také důležitým faktorem při měření kvality titanových terčů. Aby se snížila poréznost v pevném terči a zlepšila se výkonnost naprašovaného filmu, je obvykle požadováno, aby terč měl vyšší hustotu.

Hustota terče ovlivňuje nejen rychlost rozprašování, ale také elektrické a optické vlastnosti filmu. Čím vyšší je cílová hustota, tím lepší je výkon filmu. Navíc zvýšení hustoty a pevnosti terče umožňuje terči lépe odolávat tepelnému namáhání během naprašování. Hustota je také jedním z klíčových ukazatelů výkonnosti cíle.

--Velikost částic a jejich distribuce

Typicky jsou rozprašovací elektrody polykrystalické struktury s velikostí zrn v řádu několika mikrometrů až několika milimetrů. Pro stejný terč platí, že čím menší je velikost částic terče, tím vyšší je rychlost rozprašování terče; kromě toho může terč s menším rozdílem velikosti částic rozprášit film s rovnoměrnější tloušťkou. Studie zjistila, že pokud je velikost zrna titanového terče řízena pod 100 μm a změna velikosti zrna je udržována v rozmezí 20 %, kvalita naprašovaného filmu se může výrazně zlepšit.

--krystalografická orientace

Titan má uzavřenou hexagonální strukturu. Vzhledem k tomu, že atomy titanové elektrody jsou snadno rozprašovány podél šestiúhelníkového těsně sbaleného směru atomů během naprašování, za účelem dosažení vyšší rychlosti rozprašování lze změnou metody změnit krystalovou strukturu elektrody. pro zvýšení rychlosti rozprašování. Krystalografický směr titanového terče má také velký vliv na rovnoměrnost tloušťky naprašovaného filmu.

--Strukturální jednotnost

Strukturální jednotnost je také jedním z důležitých ukazatelů pro zkoumání kvality cíle. U titanových terčů je vyžadována nejen rovina naprašování terče, ale také složení normálního směru, orientace zrna a rovnoměrnost průměrné velikosti zrna v rovině naprašování. Jen tak může titanový terč získat titanový film s rovnoměrnou tloušťkou, spolehlivou kvalitou a konzistentní velikostí zrna současně během své životnosti.

Případ specifikace

Rychlost rotace: Cíl by měl být schopen rotace rychlostí až několik tisíc otáček za minutu, aby se dosáhlo rovnoměrnější rychlosti nanášení a prodloužila se životnost cíle.

Chlazení: Titanový trubkový terč by měl být chlazen vodou, aby se rozptýlilo teplo generované během procesu nanášení a zabránilo se poškození terče.
Opěrná deska: Titanová opěrná deska se obvykle používá k podepření rotačního válce a poskytuje elektrický kontakt.
Způsob lepení: Terč je obvykle spojen s podkladovou deskou pomocí difúzního spojování nebo jiných metod vysokopevnostního spojování, aby byla zajištěna dobrá tepelná a elektrická vodivost.
Čistota: Titanové rotační terče pro magnetronové naprašování by měly mít vysokou úroveň čistoty, aby se minimalizovaly nečistoty v uložených filmech a zajistil se konzistentní výkon. Úroveň nečistot by měla být pro většinu aplikací nižší než 1000 částic na milion (ppm).

Celkově se specifikace titanového rotačního válce budou lišit v závislosti na konkrétních požadavcích aplikace a cíl lze upravit tak, aby vyhovoval těmto potřebám.

Populární Tagy: Titanové rotační terče pro magnetronové naprašování, terč z titanové trubice